一方、上記の位置Ｆ３では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部１０１による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット１０が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部１１ｃの先端が把持対象物Ｐに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット１１は、保持ばね１５の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体１３の駆動部１３ｃから被動部１１ｔが駆動力を受けてしまい、把持対象物Ｐを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Ｐに接触したフィンガー部１１ｃに対応する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５のいずれかの検出信号Ｓｄが変化したり、或いは、上記コレット１１の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｃが変化することにより、制御部１０１が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄが変化したフィンガー部１１ｃがどれか、複数のフィンガー部１１ｃの幾つにおいて検出信号Ｓｄが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｄによってコレット１１の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。
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この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。
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前記筒体と前記軸体とを相対回転不能に前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記筒体の回転を前記軸体に伝達する係合部と、
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